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ICT用語同義語辞典COMPANY


【 「アイ・ライン」又はそれに関連する用語の意味 】
出典: i線 【英語名】 i-line 『光技術用語解説 ウシオ電機株式会社』 引用年月日 2020年 2月13日 JST URL:https://www.ushio.co.jp/jp/technology/glossary/

解説
 i 線とは、波長365nmの水銀のスペクトル線のこと。
 水銀は多くのスペクトル線を持つが、紫外域・可視域・近赤外域における強いスペクトル線として、253.652nm、296.728nm、312.566nm、365.015nm、404.656nm、407.781nm、434.750nm、435.835nm、546.074nm、576.959nm、579.065nm、690.716nm、1013.98nmがある。このうち、紫外域の波長365.015nm≒365nmのスペクトル線を i 線と言い、この波長を利用したステップアンドリピート(step and repeat)方式の露光装置を i 線ステッパなどと言う。 →スペクトル線を参照。

【アイ・ラインの同義語と関連語 】
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同義語・類義語 関連語・その他
i線 スペクトル線
i-line 365nm
ái láin
アイ ラゥイン
アイ・ラゥイン
ア́イ・ラゥ́イン
アイ ライン
アイ・ライン
ア́イ・ラ́イン
アイせん





























































更新日:2024年 4月12日


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i線 (ウシオ電機株式会社)