出典: ステッパー 『フリー百科事典 ウィキペディア日本語版(Wikipedia)』 最終更新 2017年12月21日 (木) 18:03 UTC、URL: https://ja.wikipedia.org/ ステッパー(英語: stepper)とは、半導体素子製造装置の一つで、縮小投影型露光装置のことである。シリコンなどのウェハーに回路を焼き付けるため、ウェハー上にレジストを塗布し、レチクルのパターンを投影レンズにより1/4から1/5に縮小して、ウェハー上を移動(ステップ)しながら投影露光する。 ・・・ |
同義語・類義語 | 関連語・その他 |
---|---|
lithography | |
stepper | |
ステッパー | |
フォトリソグラフィ | |
フォトリソグラフィ装置 | |
リソグラフィ | |
リソグラフィー | |
液浸ステッパー | |
縮小投影型露光装置 | |
半導体露光装置 | |
露光装置 | |
ろこう そうち | |
rokou souchi | |
更新日:2023年 6月27日 |